技術(shù)文章_第(16)頁－北京歐波同光學(xué)技術(shù)有限公司

2021

10-18

PFIB顯微鏡是一款雙束電鏡，它可以簡單理解為單束聚焦離子束系統(tǒng)與普通SEM的耦合。單束聚焦離子束系統(tǒng)由離子源、離子光學(xué)柱、束描畫系統(tǒng)、信號采集系統(tǒng)和樣品臺五個部分構(gòu)成。離子源設(shè)置在離子束鏡筒的頂端，在其上加較強(qiáng)的電場可以抽取出帶正電荷的離子，這些離子通過靜電透鏡及偏轉(zhuǎn)裝置的聚焦和偏轉(zhuǎn)來實現(xiàn)對樣品的可控掃描。樣品加工是通過將加速的離子轟擊樣品使其表面原子發(fā)生濺射來實現(xiàn)，同時產(chǎn)生的二次電子和二次離子被相應(yīng)的探測器收集并用于成像。為了避免離子束受周圍氣體分子的影響，與掃描電鏡類似...

2021

10-14

環(huán)掃電鏡常見分類和應(yīng)用領(lǐng)域

環(huán)掃電鏡是一種掃描電子顯微鏡，利用聚焦電子束掃描樣品的表面來產(chǎn)生樣品表面的圖像。最常見的掃描電鏡模式是檢測由電子束激發(fā)的原子發(fā)射的二次電子?？梢詸z測的二次電子的數(shù)量，取決于樣品測繪學(xué)形貌。環(huán)掃電鏡常見分類：1.分析掃描電鏡:掃描電鏡配備X射線能譜儀EDS后發(fā)展成分析掃描電鏡，不僅比X射線波譜儀WDS分析速度快、靈敏度高、也可進(jìn)行定性和無標(biāo)樣定量分析。2.場發(fā)射槍掃描電鏡：場發(fā)射掃描電鏡得到了很大的發(fā)展，不僅提高了常規(guī)加速電壓時的分辨本領(lǐng)，還顯著改善了低壓性能。3.低壓掃描電鏡...

2021

10-11

環(huán)境掃描電子顯微鏡的工作原理和儀器特點

環(huán)境掃描電子顯微鏡工作原理：電子與樣品中的原子相互作用，產(chǎn)生包含關(guān)于樣品的表面測繪學(xué)形貌和組成的信息的各種信號。電子束通常以光柵掃描圖案掃描，并且光束的位置與檢測到的信號組合以產(chǎn)生圖像。掃描電子顯微鏡由電子槍發(fā)射出電子束，在加速電壓的作用下經(jīng)過磁透鏡系統(tǒng)匯聚，形成電子束，聚焦在樣品表面上，在第二聚光鏡和物鏡之間偏轉(zhuǎn)線圈的作用下，電子束在樣品上做光柵狀掃描，電子和樣品相互作用產(chǎn)生信號電子。這些信號電子經(jīng)探測器收集并轉(zhuǎn)換為光子，再經(jīng)過電信號放大器加以放大處理，成像在顯示系統(tǒng)上。環(huán)...

2021

9-16

透射掃描電子顯微鏡的核心優(yōu)勢介紹，請收好！

透射掃描電子顯微鏡既有透射電子顯微鏡又有掃描電子顯微鏡的顯微鏡，可以將樣品冷卻到液氮溫度，特別適用于觀測蛋白、生物切片等對溫度敏感的樣品。通過對樣品的冷凍，可以降低電子束對樣品的損傷，減小樣品的形變，從而得到更加真實的樣品形貌。透射掃描電子顯微鏡成像是利用會聚的電子束在樣品上掃描來完成的。在掃描模式下，場發(fā)射電子源發(fā)射出電子，通過在樣品前磁透鏡以及光闌把電子束會聚成原子尺度的束斑。電子束斑聚焦在試樣表面后，通過線圈控制逐點掃描樣品的一個區(qū)域。在每掃描一點的同時，樣品下面的探測...

2021

9-13

場發(fā)射電鏡真的那么好用嗎？

場發(fā)射電鏡是電子顯微鏡的一種，是以場發(fā)射電子發(fā)射體發(fā)射電子，并以電子束為光源，在真空狀態(tài)下通過電磁透鏡控制電子束匯集成很小的束斑照射并透過樣品。由于電子的德布羅意波長非常短，可以獲得樣品原子級微觀形貌。其原理是利用二次電子或背散射電子成像，對樣品表面放大一定的倍數(shù)進(jìn)行形貌觀察，同時利用電子激發(fā)出樣品表面的特征X射線來對微區(qū)的成分進(jìn)行定性定量分析。具有電子束斑小、高分辨率、穩(wěn)定性好等特點。場發(fā)射電鏡有以下幾種用途：1.納米材料基本特性分析：對有機(jī)、無機(jī)、納米材料進(jìn)行微觀形態(tài)研究...

2021

9-10

FIB雙束掃描電鏡是什么？他又有那些用途？

隨著半導(dǎo)體電子器件及集成電路技術(shù)的飛速發(fā)展，器件及電路結(jié)構(gòu)越來越復(fù)雜，這對微電子芯片工藝診斷、失效分析、微納加工的要求也越來越高。FIB雙束掃描電鏡所具備的強(qiáng)大的精細(xì)加工和微觀分析功能，使其廣泛應(yīng)用于微電子設(shè)計和制造領(lǐng)域。FIB雙束掃描電鏡是指同時具有聚焦離子束(FocusedIonBeam，F(xiàn)IB)和掃描電子顯微鏡(ScanningElectronMicroscope，SEM)功能的儀器。它可以實現(xiàn)SEM實時觀測FIB微加工過程的功能，把電子束高空間分辨率和離子束精細(xì)加工的...

2021

9-8

聚焦離子束顯微鏡原來可以用于這些地方！

聚焦離子束顯微鏡的利用鎵(Ga)金屬作為離子源，再加上負(fù)電場(Extractor)牽引端細(xì)小的鎵原子，而導(dǎo)出鎵離子束再以電透鏡聚焦，經(jīng)過一連串可變孔徑光闌，決定離子束的大小，再經(jīng)過二次聚焦以很小的束斑轟擊樣品表面，利用物理碰撞來進(jìn)行特定圖案的加工，一般單粒子束的顯微鏡，可以提供材料切割、沉積金屬、蝕刻金屬和選擇性蝕刻氧化層等功能。聚焦離子束顯微鏡主要應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路修改、切割和故障分析、TEM制樣等。1.精細(xì)切割及材料蒸鍍：利用顯微鏡可以在素玻璃上分別進(jìn)行鎵離子精細(xì)切割及...

2021

8-24

FIB雙束電鏡是什么？有哪些功能？

隨著半導(dǎo)體電子器件及集成電路技術(shù)的飛速發(fā)展，器件及電路結(jié)構(gòu)越來越復(fù)雜，這對微電子芯片工藝診斷、失效分析、微納加工的要求也越來越高。FIB雙束電鏡所具備的強(qiáng)大的精細(xì)加工和微觀分析功能，使其廣泛應(yīng)用于微電子設(shè)計和制造領(lǐng)域。FIB雙束電鏡系統(tǒng)是指同時具有聚焦離子束和掃描電子顯微鏡功能的系統(tǒng)，可以實現(xiàn)SEM實時觀測FIB微加工過程的功能，把電子束高空間分辨率和離子束精細(xì)加工的優(yōu)勢集于一身。其中，F(xiàn)IB是將液態(tài)金屬離子源產(chǎn)生的離子束經(jīng)過加速，再聚焦于樣品表面產(chǎn)生二次電子信號形成電子像，...

2021

8-22

FIB顯微鏡的原理和作用，快來了解一下吧！

隨著納米科技的發(fā)展，納米尺度制造業(yè)發(fā)展迅速，而納米加工就是納米制造業(yè)的核心部分，納米加工的代表性方法就是聚焦離子束。近年來發(fā)展起來的聚焦離子束(FIB)技術(shù)利用高強(qiáng)度聚焦離子束對材料進(jìn)行納米加工，配合FIB顯微鏡等高倍數(shù)電子顯微鏡實時觀察，成為了納米級分析、制造的主要方法。目前已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路修改、切割和故障分析等。FIB顯微鏡的工作原理：聚焦離子束(FIB)轟擊樣品表面，激發(fā)二次電子、中性原子、二次離子和光子等，收集這些信號，經(jīng)處理顯示樣品的表面形貌。聚焦離子束的...

2021

8-20

TEM掃描電鏡能通過哪些信號得到被檢測樣品信息？

TEM掃描電鏡的制造是依據(jù)電子與物質(zhì)的相互作用。當(dāng)一束高能的入射電子轟擊物質(zhì)表面時，被激發(fā)的區(qū)域?qū)a(chǎn)生二次電子、俄歇電子、特征x射線和連續(xù)譜X射線、背散射電子、透射電子等多種的信號，以及在可見、紫外、紅外光區(qū)域產(chǎn)生的電磁輻射。同時，也可產(chǎn)生電子-空穴對、晶格振動(聲子)、電子振蕩(等離子體)。原則上講，利用電子和物質(zhì)的相互作用，可以獲取被測樣品本身的各種物理、化學(xué)性質(zhì)的信息，如：形貌、組成、晶體結(jié)構(gòu)、電子結(jié)構(gòu)和內(nèi)部電場或磁場等等。TEM掃描電鏡正是根據(jù)上述不同信息產(chǎn)生的機(jī)理，...

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