環(huán)境掃描電鏡是指掃描電子顯微鏡的一個重要分支,環(huán)境掃描電子顯微鏡除了像普通掃描電鏡的樣品室和鏡筒內設為高真空,檢驗導電導熱或經導電處理的干燥固體樣品以外,還可以作為低真空掃描電鏡直接檢測非導電導熱樣品,無需進行處理,但是低真空狀態(tài)下只能獲得背散射電子像。
環(huán)境掃描電鏡樣品室內的氣壓可大于水在常溫下的飽和蒸氣壓,環(huán)境掃描電鏡可以對各種固體和液體樣品進行形態(tài)觀察和元素定性定量分析,對部分溶液進行相變過程觀察。對于生物樣品、含水樣品、含油樣品,既不需要脫水,也不必進行噴碳或金等導電處理,可在自然的狀態(tài)下直接觀察二次電子圖像并分析元素成分。還可分析生物樣品和非導電樣品(背散射和二次電子像)、分析液體樣品以及土20°C內的固液相變過程觀察。
環(huán)境掃描電鏡的特點:
普通掃描電鏡的樣品室和鏡筒內均為高真空(約為10ˆ-6個大氣壓),只能檢驗導電導熱或經導電處理的干燥固體樣品。低真空掃描電鏡可直接檢驗非導電導熱樣品,無需進行處理,但是低真空狀態(tài)下只能獲得背散射電子像。環(huán)境掃描電鏡除具有以上兩種電鏡的所有功能外,
還具有以下幾個主要特點:
1、樣品室內的氣壓可大于水在常溫下的飽和蒸汽壓;
2、環(huán)境狀態(tài)下可對二次電子成像;
3、觀察樣品的溶解、凝固、結晶等相變動態(tài)過程(在-20℃~+20℃范圍)。